Epitaktischer Siliciumcarbidwafer und Herstellungsverfahren dafür

EP2514857 Art B1 21. Februar 2018

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2514857
Aktenzeichen: EP10837482
Anmeldetag: 8. Dezember 2010
Veröffentlichung: 21. Februar 2018
Erteilung: 21. Februar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C30B25/18C30B25/16C30B25/02C30B29/36H01L21/02// H01L29/16H01L29/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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