Verfahren und Vorrichtung zur Berechnung elektromagnetischer Streuungseigenschaften von Strukturen und für die Rekonstruktion von approximativen Strukturen
EP2515168
Art B1
20. Januar 2021
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2515168
- Aktenzeichen
- EP12158979
- Anmeldetag
- 12. März 2012
- Veröffentlichung
- 20. Januar 2021
- Erteilung
- 20. Januar 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00G03F1/84G03F7/20G01N21/956G01N21/47
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Weenink, Willem
Veldhoven, Niederlande
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ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven