Verfahren zur Bestimmung eines rekonstruierten Bildes mit Hilfe einer partikel-optischen Vorrichtung

EP2518687 Art B1 24. April 2013

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2518687
Aktenzeichen
EP11163633
Anmeldetag
26. April 2011
Veröffentlichung
24. April 2013
Erteilung
24. April 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G06T5/00G06T5/50H01J37/22H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

A method for determining a reconstructed image using a particle-optical apparatus is described. The method comprises receiving (60) the plurality of pixel signals, determining (70) a reconstructed image from using Viterbi Detection on the plurality of pixel signals, the Viterbi Detection using a plurality of different states corresponding to a plurality of configurations of particles incident on the detector, and at least two states of the plurality of different states corresponding to a same, non-zero multiplicity of incident particles on a single pixel of the plurality of pixel signals.

Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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