Vorrichtung mit einer Leitstruktur

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2520810

Aktenzeichen

EP12002240

Anmeldetag

28. März 2012

Veröffentlichung

8. Januar 2020

Erteilung

8. Januar 2020

Rechtsraum

EP

IPC

F04D29/70B01D45/08B01D53/24

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (30) mit einer Leitstruktur (50) und einem Gehäuse, welches einen ersten Flansch (32) zum Verbinden der Vorrichtung mit einem einen Innenraum (12) besitzenden Rezipienten (10) und einen zweiten Flansch (6) zum Verbinden der Vorrichtung mit einer Hochvakuumpumpe (2) aufweist. Um die Hochvakuumpumpe besser vor kondensierbaren Dämpfen zu schützen, wird vorgeschlagen, dass die Leitstruktur (50) so angeordnet und gestaltet ist, dass jedes direkt aus dem Innenraum durch den ersten Flansch hindurchtretende Molekül auf dem Weg zwischen erstem und zweitem Flansch wenigstens zwei Stöße mit der Vorrichtung (30) ausführt.

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete