Kapazitativer MEMS-Drucksensor, Betriebsverfahren und Herstellungsverfahren
Anmelder: ams International AG, ams international AG, NXP B.V. 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2520918
- Aktenzeichen
- EP12165684
- Anmeldetag
- 26. April 2012
- Veröffentlichung
- 19. April 2017
- Erteilung
- 19. April 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L9/00G01L9/12G01L19/00G01L27/00
Abstract
A MEMS pressure sensor wherein at least one of the electrode arrangements comprises an inner electrode and an outer electrode arranged around the inner electrode. The sensor is provided over an integrated circuit. The capacitances associated with the inner electrode and the outer electrode can be independently measured and can be differentially measured. This arrangement enables various different read out schemes to be implemented and also enables improved compensation for variations between devices or changes in device characteristics over time.
Anmelder
- Firmen
- ams International AG
ams international AG
NXP B.V. - Land
- 🇨🇭 Schweiz
Ams International ist die schweizerische Konzerneinheit von ams OSRAM, einem Hersteller von Sensoren und optischen Halbleiterkomponenten. Der Anmelder konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Elektronik, Nachrichtentechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2009 bis in die Gegenwart.
359 Patente in unserer Datenbank
Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.
7.918 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
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Epping - Hermann - Fischer
Epping - Hermann - Fischer · München
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Crawford, Andrew
NoneNijmegen
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Williamson, Paul Lewis
NoneEindhoven