Flüssigkeitsausgabesystem mit Gasentfernungs- und Erfassungskapazitäten

EP2521622 Art A2 14. November 2012

Anmelder: Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2521622
Aktenzeichen
EP11732092
Anmeldetag
5. Januar 2011
Veröffentlichung
14. November 2012
Rechtsraum
EP
IPC
B05B7/02B05B7/24B67D7/02B01D19/00C02F1/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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