Linderung von durch Laser Herbeigeführten Schäden an Optischen Materialien durch Unterdrückung der Formation von Übergangsfarbzentren sowie zur Steuerung der Phonon-Population

EP2522056 Art B1 13. März 2019

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2522056
Aktenzeichen
EP11732035
Anmeldetag
3. Januar 2011
Veröffentlichung
13. März 2019
Erteilung
13. März 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/10H01S3/113
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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