Verfahren zur Herstellung einer ferroelektrischen Dünnschicht

EP2525393 Art B1 21. Oktober 2020

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2525393
Aktenzeichen: EP12168091
Anmeldetag: 15. Mai 2012
Veröffentlichung: 21. Oktober 2020
Erteilung: 21. Oktober 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L41/08H01L41/318H01L41/319H01L49/02H01L35/22H01L35/34// H01L21/28H01L41/187

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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