Vorrichtung zur Erfassung von Prozessbedingungen für eine Plasmakammer

EP2526743 Art B1 7. Dezember 2016

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2526743
Aktenzeichen: EP11735001
Anmeldetag: 11. Januar 2011
Veröffentlichung: 7. Dezember 2016
Erteilung: 7. Dezember 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/46G01N27/60H01L21/205H01J37/32C23C16/52C23C14/54G01N27/62G01R19/00

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland

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Schwerpunkte

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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