Auf Leitfähigkeit Beruhende Selektive Ätzung für Gan-Vorrichtungen und Anwendungen davon
EP2529394
Art A1
5. Dezember 2012
Anmelder: Yale University 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2529394
- Aktenzeichen
- EP11737629
- Anmeldetag
- 27. Januar 2011
- Veröffentlichung
- 5. Dezember 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306H01L21/3063H01L21/20H01L33/16H01L33/32C25B1/00C25B1/04C25F3/12C30B29/40C30B33/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Yale University
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Yale University
US-amerikanische private Forschungsuniversität in New Haven, Connecticut, gegründet 1701.
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Kanzlei
ZSP Patentanwälte PartG mbB
München, Deutschland
Geht auf die 1992 gegründete Kanzlei Dr. Volker Vossius zurück, firmiert seit 2015 als Zwicker Schnappauf & Partner, mit Standorten in München und Berlin. Schwerpunkt auf Biotechnologie, Chemie, Medizintechnik und Pharmazie, Website in sechs Sprachen abrufbar.
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