Ladungsträgerstrahl-Mikroskop und Messverfahren damit

EP2530699 Art B1 21. Juni 2017

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2530699
Aktenzeichen: EP11734518
Anmeldetag: 21. Januar 2011
Veröffentlichung: 21. Juni 2017
Erteilung: 21. Juni 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/22H01J37/28H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

3.840 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von