Verfahren zur Herstellung dünner Proben zur TEM-Abbildung

EP2530700 Art B1 1. März 2017

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2530700
Aktenzeichen
EP12170383
Anmeldetag
1. Juni 2012
Veröffentlichung
1. März 2017
Erteilung
1. März 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/305G01N1/28H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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