Hochpräzise Strahlplatzierung zur Navigation in lokalen Bereichen
EP2533278
Art A3
20. März 2013
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2533278
- Aktenzeichen
- EP12171116
- Anmeldetag
- 7. Juni 2012
- Veröffentlichung
- 20. März 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66H01J37/28H01J37/304G06T7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
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Schwerpunkte