Abtastmikroskop und Verfahren zur lichtmikroskopischen Abbildung eines Objektes

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2535754

Aktenzeichen

EP12171939

Anmeldetag

14. Juni 2012

Veröffentlichung

6. August 2014

Erteilung

6. August 2014

Rechtsraum

EP

IPC

G02B21/10G02B21/16G02B21/36G02B21/00

Abstract

Ein Abtastmikroskop (100, 200, 300, 400, 500) umfasst eine Lichtquelle (20, 61, 64) zum Aussenden eines Beleuchtungslichtstrahls (12), eine Beleuchtungsoptik (10) zum Erzeugen eines länglichen Beleuchtungsfokus (16, 84) in einem abzubildenden Objekt (36) und eine Abtastvorrichtung (33) zum Bewegen des Beleuchtungsfokus (16, 84) über einen zu beleuchtenden Zielbereich des abzubildenden Objektes (36) durch Ändern der Einfallsrichtung, in der der Beleuchtungslichtstrahl (12) in eine Eintrittspupille (14) der Beleuchtungsoptik (10) fällt. Die Abtastvorrichtung (33) richtet den Beleuchtungslichtstrahl (12) zum Schrägstellen des Beleuchtungsfokus (16, 84) relativ zur optischen Achse (O<1>) der Beleuchtungsoptik (10) auf einen aus der Pupillenmitte versetzten Teilbereich der Eintrittspupille (14) der Beleuchtungsoptik (10) und ändert zum Bewegen des Beleuchtungsfokus (16, 84) über den zu beleuchtenden Zielbereich die Einfallsrichtung des Beleuchtungslichtstrahls (36) innerhalb dieses Teilbereichs. Es ist ein von der Beleuchtungsoptik (10) räumlich getrenntes Beobachtungsobjektiv (38) vorgesehen, das mit seiner optischen Achse (O<3>) im Wesentlichen senkrecht zu dem beleuchteten Zielbereich und unter einem spitzen Winkel (α) zur optischen Achse (O<1>) der Beleuchtungsoptik (10) angeordnet ist.

Anmelder

Firma

Leica Microsystems CMS GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete