Chromatographiesäule

EP2538212 Art A1 26. Dezember 2012

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Octec Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2538212
Aktenzeichen: EP12169531
Anmeldetag: 14. August 2007
Veröffentlichung: 26. Dezember 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G01N30/60G01N30/88G01N30/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Octec Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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