Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen eines Verhältnisses von Wasserstoffgehalten

EP2541231 Art A1 2. Januar 2013

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd., Gifu University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2541231
Aktenzeichen: EP11747216
Anmeldetag: 15. Februar 2011
Veröffentlichung: 2. Januar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/21G01N21/27H01L31/0236H01L31/04G01B11/06G01B11/24G01N21/84G01N21/3563G01N21/95H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Gifu University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

1.641 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Dainippon Screen Mfg

Dainippon Screen Mfg war ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Halbleiter und Druckvorstufe, ein Vorläufer des heutigen SCREEN-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Nachrichten- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2014 ab.

275 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von