Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen eines Verhältnisses von Wasserstoffgehalten

EP2541231 Art A1 2. Januar 2013

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd., Gifu University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2541231
Aktenzeichen: EP11747216
Anmeldetag: 15. Februar 2011
Veröffentlichung: 2. Januar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/21G01N21/27H01L31/0236H01L31/04G01B11/06G01B11/24G01N21/84G01N21/3563G01N21/95H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Gifu University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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