Siliziumdriftdetektor zur Verwendung in einer Vorrichtung für geladene Teilchen

EP2544025 Art A1 9. Januar 2013

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2544025
Aktenzeichen
EP11172955
Anmeldetag
7. Juli 2011
Veröffentlichung
9. Januar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G01T1/24H01J37/244H01L31/115
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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