Siliziumdriftdetektor zur Verwendung in einer Vorrichtung für geladene Teilchen

EP2544026 Art B1 11. Dezember 2013

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2544026
Aktenzeichen
EP12173975
Anmeldetag
28. Juni 2012
Veröffentlichung
11. Dezember 2013
Erteilung
11. Dezember 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G01T1/24H01J37/244H01L31/115
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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