Überprüfungsvorrichtung und Überprüfungsverfahren

EP2546634 Art B1 17. April 2019

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., OSAKA UNIVERSITY, Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2546634
Aktenzeichen: EP12170803
Anmeldetag: 5. Juni 2012
Veröffentlichung: 17. April 2019
Erteilung: 17. April 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/35G01R31/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
OSAKA UNIVERSITY
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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