Verfahren und Strukturen zum schnellen Umschalten zwischen unterschiedlichen Prozessgasen in einer induktiv gekoppelten Plasmaionquelle (ICP)
EP2546863
Art B1
8. Januar 2014
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2546863
- Aktenzeichen
- EP12173972
- Anmeldetag
- 28. Juni 2012
- Veröffentlichung
- 8. Januar 2014
- Erteilung
- 8. Januar 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/08H01J37/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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