Elektrostatische Klemme, lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer elektrostatischen Klemme

EP2555234 Art B1 19. August 2020

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2555234
Aktenzeichen
EP12171001
Anmeldetag
6. Juni 2012
Veröffentlichung
19. August 2020
Erteilung
19. August 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik
Vertreten von
Ketting, Alfred Eindhoven, Niederlande
40
Patente gesamt
8
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Optik & Fototechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektrische Energietechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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