Vorrichtung mit einem MEMS Drucksensor und einer CMOS Schaltung und Verfahren zu ihrer Herstellung
Anmelder: ams International AG, ams international AG, NXP B.V. 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2557406
- Aktenzeichen
- EP12175091
- Anmeldetag
- 5. Juli 2012
- Veröffentlichung
- 10. April 2019
- Erteilung
- 10. April 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L9/00G01L19/06
Abstract
Various embodiments relate to a MEMS pressure sensor (100)including: a lower electrode (106); an upper electrode (114) over the lower electrode; an insulating layer between the lower and upper electrodes that forms a cavity (110) between the upper and lower electrodes; and a NONON pressure membrane (116) over the upper electrode.
Anmelder
- Firmen
- ams International AG
ams international AG
NXP B.V. - Land
- 🇨🇭 Schweiz
Ams International ist die schweizerische Konzerneinheit von ams OSRAM, einem Hersteller von Sensoren und optischen Halbleiterkomponenten. Der Anmelder konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Elektronik, Nachrichtentechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2009 bis in die Gegenwart.
359 Patente in unserer Datenbank
Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.
7.918 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
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Murgitroyd & Company · Leeds