Mikroskopiebildgebungsverfahren mit geladenen Teilchen

EP2557586 Art B1 2. April 2014

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2557586
Aktenzeichen
EP12179763
Anmeldetag
9. August 2012
Veröffentlichung
2. April 2014
Erteilung
2. April 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/22H01J37/28G01N23/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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