Ringlichtbeleuchter und Strahlenformer für den Ringlichtbeleuchter

EP2564111 Art B1 5. Januar 2022

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2564111
Aktenzeichen: EP11774522
Anmeldetag: 28. April 2011
Veröffentlichung: 5. Januar 2022
Erteilung: 5. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: F21S2/00F21V5/00F21V8/00F21V29/00G02B21/08G02B21/10G01N21/88G02B27/09F21W131/406F21Y115/10

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von

Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland

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