Verfahren zur Bestimmung von Materialparametern eines Dotierten Halbleitersubstrates durch Messung von Photolumineszenzstrahlung

EP2564183 Art B1 1. Dezember 2021

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2564183
Aktenzeichen: EP11715660
Anmeldetag: 13. April 2011
Veröffentlichung: 1. Dezember 2021
Erteilung: 1. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/265G01N21/64G01R31/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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