Akustische Wandler mit perforierten Membranen
EP2565153
Art B1
11. November 2015
Anmelder: NXP B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2565153
- Aktenzeichen
- EP11179806
- Anmeldetag
- 2. September 2011
- Veröffentlichung
- 11. November 2015
- Erteilung
- 11. November 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81B3/00
Abstract
A MEMS device, such as a microphone, uses a fixed perforated plate. The fixed plate comprises an array of holes across the plate area. At least a set of the holes adjacent the outer periphery comprises a plurality of rows of elongate holes, the rows at different distances from the periphery. This design improves the mechanical robustness of the membrane and can additionally allow tuning of the mechanical behaviour of the plate.
Anmelder
- Firma
- NXP B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
NXP Semiconductors
Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.
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