Probenbeobachtungsverfahren und Transmissionselektronenstrahlmikroskop

EP2565901 Art A1 6. März 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation, Hitachi Science Systems, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2565901
Aktenzeichen: EP12007245
Anmeldetag: 24. November 2003
Veröffentlichung: 6. März 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26H01J37/22// G06K9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi High-Technologies Corporation
Hitachi Science Systems, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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