Verfahren zur Herstellung einer Folie und Ihre Entfernung von der Oberfläche einer Schmelze mittels Elastizität und Auftrieb

EP2567001 Art B1 5. August 2015

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2567001
Aktenzeichen: EP11707770
Anmeldetag: 4. März 2011
Veröffentlichung: 5. August 2015
Erteilung: 5. August 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C30B11/00C30B29/06C30B15/00C30B15/06C30B15/20C30B15/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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