Bestimmung Optischer Materialeigenschaften zur Optischen Messung von Strukturen
EP2567209
Art B1
8. Juli 2020
Anmelder: KLA-Tencor Corporation, Tokyo Electron Limited 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2567209
- Aktenzeichen
- EP11778115
- Anmeldetag
- 2. Mai 2011
- Veröffentlichung
- 8. Juli 2020
- Erteilung
- 8. Juli 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01M11/02G01B11/24// G01N21/01
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- KLA-Tencor Corporation
Tokyo Electron Limited - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Manley, Nicholas Michael
Liverpool, Großbritannien
605
Patente gesamt
32
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin