Herstellung von Nanometer- und Mikrometerstrukturen mit Kontinuierlichen Reliefs
EP2567290
Art B1
10. Juli 2019
Anmelder: Paul Scherrer Institut 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2567290
- Aktenzeichen
- EP11717604
- Anmeldetag
- 29. April 2011
- Veröffentlichung
- 10. Juli 2019
- Erteilung
- 10. Juli 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00B82Y10/00B82Y40/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Paul Scherrer Institut
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
PAUL Scherrer Institut
Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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