Dreimassige Gekoppelte Oszillationstechnik für Mechanisch Robuste Mikroverarbeitete Gyroskope

EP2570770 Art B1 23. Juni 2021

Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2570770
Aktenzeichen
EP12182539
Anmeldetag
31. August 2012
Veröffentlichung
23. Juni 2021
Erteilung
23. Juni 2021
Rechtsraum
EP
IPC
G01C19/5733
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

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