Bestimmung der Form der Beleuchtungsquelle in optischer Lithographie
Anmelder: IMEC, Sony Corporation, ASML Netherlands BV 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2570854
- Aktenzeichen
- EP11181654
- Anmeldetag
- 16. September 2011
- Veröffentlichung
- 30. November 2016
- Erteilung
- 30. November 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F1/36
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Sony Corporation
ASML Netherlands BV - Land
- 🇧🇪 Belgien
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