Diffusionsmittelzusammensetzung und Verfahren zur Formung einer Unreinheitendiffusionsschicht

EP2573800 Art B1 8. November 2017

Anmelder: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2573800
Aktenzeichen: EP11783206
Anmeldetag: 12. April 2011
Veröffentlichung: 8. November 2017
Erteilung: 8. November 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/22H01L21/225H01L31/04H01L21/228

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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