Abgedichtete poröse Materialien, Verfahren zur Herstellung davon und Halbleitervorrichtungen damit

EP2573802 Art B1 19. Juni 2019

Anmelder: IMEC VZW, Universiteit Gent, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2573802
Aktenzeichen: EP12185247
Anmeldetag: 20. September 2012
Veröffentlichung: 19. Juni 2019
Erteilung: 19. Juni 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3105

Abstract

The invention relates to a method for at least partially sealing a porous material comprising forming a sealing layer onto the porous material by applying a sealing compound comprising oligomers wherein the oligomers are formed by ageing a precursor solution comprising cyclic carbon bridged organosilica and/or bridged organosilanes. The invention is especially designed for low k dielectric porous materials to be incorporated into semiconductor devices.

Anmelder

Firmen: IMEC VZW
Universiteit Gent
IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 Ghent University

Belgische Universität in Gent, betreibt Lehre und Forschung in einem breiten Spektrum wissenschaftlicher und technischer Disziplinen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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