Halogenierte Organoaminosilan-Vorläufer und Verfahren zum Ablagern von Filmen damit
EP2574611
Art B1
23. März 2016
Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2574611
- Aktenzeichen
- EP12185977
- Anmeldetag
- 25. September 2012
- Veröffentlichung
- 23. März 2016
- Erteilung
- 23. März 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F7/12C23C16/30H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
906 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hatt, Anna Louise
London, Großbritannien
113
Patente gesamt
24
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Beck Greener LLP
Beck Greener LLP · London
-
Beck Greener
Beck Greener · London