Verfahren zur Halbleiterprüfung und Vorrichtung zur Halbleiterprüfung

EP2574906 Art B1 10. April 2019

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Osaka University, Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2574906
Aktenzeichen: EP12184081
Anmeldetag: 12. September 2012
Veröffentlichung: 10. April 2019
Erteilung: 10. April 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/17G01N21/95G01N21/956G01R31/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Osaka University
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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