Beschichtungsflüssigkeit für die Bordiffusion

EP2578721 Art B1 19. Dezember 2018

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2578721
Aktenzeichen
EP12187177
Anmeldetag
4. Oktober 2012
Veröffentlichung
19. Dezember 2018
Erteilung
19. Dezember 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C23C10/00C23C10/18C23C10/60C23C28/00C23C10/20H01L21/22H01L31/068H01L31/18C23C28/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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