Vorrichtung und Verfahren zur Abscheidung von polykristallinem Silicium
EP2578724
Art B1
29. April 2015
Anmelder: Wacker Chemie AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2578724
- Aktenzeichen
- EP12186827
- Anmeldetag
- 1. Oktober 2012
- Veröffentlichung
- 29. April 2015
- Erteilung
- 29. April 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/24C01B33/035
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Wacker Chemie AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Wacker Chemie
Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in München, spezialisiert auf Silicone, Polymere und polykristallines Silizium für die Halbleiter- und Solarindustrie. Das Unternehmen wurde 1914 gegründet.
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