Transmissionsinterferenzmikroskop

EP2579292 Art A1 10. April 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2579292
Aktenzeichen: EP11786700
Anmeldetag: 26. Mai 2011
Veröffentlichung: 10. April 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/295H01J37/09H01J37/24H01J37/26H01J37/147H01J37/02H01J37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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