Abtastverfahren zum Abtasten einer Probe mit einer Sonde

EP2584363 Art A1 24. April 2013

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2584363
Aktenzeichen
EP12188958
Anmeldetag
18. Oktober 2012
Veröffentlichung
24. April 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G01Q30/06G06T5/50G06T7/00H01J37/26B82Y35/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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