Interner, geschlitzter Faraday-Schild für eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle
EP2584583
Art A3
28. August 2013
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2584583
- Aktenzeichen
- EP12189159
- Anmeldetag
- 19. Oktober 2012
- Veröffentlichung
- 28. August 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
Weitere Vertreter
-
Bakker, Hendrik
NoneEindhoven