Wiederherstellung von Xe und Anderen Hochwertigen Verbindungen

EP2585401 Art A2 1. Mai 2013

Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2585401
Aktenzeichen
EP11798831
Anmeldetag
22. Juni 2011
Veröffentlichung
1. Mai 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C01B23/00B01D53/02B01J20/20B01J20/28G01T1/16B01D53/00B01D53/14B01D53/68G01T1/178B01D53/047B01D53/75
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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