Vorrichtung und Verfahren zum Trocknen einer Fotomaske
EP2588823
Art B1
18. Mai 2016
Anmelder: Pfeiffer Vacuum, Adixen Vacuum Products 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2588823
- Aktenzeichen
- EP11730931
- Anmeldetag
- 27. Juni 2011
- Veröffentlichung
- 18. Mai 2016
- Erteilung
- 18. Mai 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F26B5/04F26B7/00F26B21/14G03F1/82
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Pfeiffer Vacuum
Adixen Vacuum Products - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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Kanzlei
Innovincia
Thonon-les-Bains, Frankreich
Innovincia wurde 2006 von Thomas Croonenbroek in Thonon-les-Bains gegründet, seit 2020 Teil der Kanzleigruppe LLR mit zweitem Büro in Annecy. Begleitet Mandanten von der Anmeldung bis zur Durchsetzung in Europa, den USA und Asien, mit Freedom-to-Operate-Analysen und Portfoliobewertungen.
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