Handhabung von Strahlfunktionsstörungen Während der Ionenimplantation von Werkstücken

EP2589063 Art A1 8. Mai 2013

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2589063
Aktenzeichen: EP11743678
Anmeldetag: 29. Juni 2011
Veröffentlichung: 8. Mai 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317H01J37/304H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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