Verfahren und Anordnung zur Positionierung von Elektronischen Vorrichtungen aus Fächern eines Eingabemediums und in ein Ausgabemedium

EP2589278 Art B1 6. Mai 2020

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2589278
Aktenzeichen
EP11800266
Anmeldetag
30. März 2011
Veröffentlichung
6. Mai 2020
Erteilung
6. Mai 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H05K13/08H05K13/02G01B11/03
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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