Verfahren zur Herstellung einer Strahl-Definierenden Blende für einen Fokussierten Ionenstrahl und Strahldefinition eines Fokussierten Ionenstrahls mit einer Solchen Blende
EP2590203
Art B1
1. Februar 2017
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2590203
- Aktenzeichen
- EP12191348
- Anmeldetag
- 6. November 2012
- Veröffentlichung
- 1. Februar 2017
- Erteilung
- 1. Februar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/09
Abstract
An improved beam-defining aperture structure and method for fabrication is realized. An aperture opening (432) is made in a thin conductive film (420) positioned over a cavity (430) in a support substrate (410), where the aperture size and shape is determined by the opening in the conductive film and not determined by the cavity in the substrate.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
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28
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4
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