Ringlichtbeleuchter, Strahlenformer und Beleuchtungsverfahren

EP2598791 Art A1 5. Juni 2013

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2598791
Aktenzeichen
EP11811909
Anmeldetag
25. Juli 2011
Veröffentlichung
5. Juni 2013
Rechtsraum
EP
IPC
F21S2/00F21V8/00G02B21/10G02B21/08G02B27/09G02B19/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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