Verfahren und System zur Bereitstellung von Prozesswerkzeug-Korrekturmitteln
EP2599106
Art A2
5. Juni 2013
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2599106
- Aktenzeichen
- EP11813139
- Anmeldetag
- 27. Juli 2011
- Veröffentlichung
- 5. Juni 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/027H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin
-
Lukaszyk, Szymon
Kancelaria Patentowa LukaszykNone