Induktiv gekoppelte Plasmaquelle als eine Elektronenstrahlquelle zur Spektralanalyse

EP2600380 Art B1 20. April 2016

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2600380
Aktenzeichen
EP12194516
Anmeldetag
28. November 2012
Veröffentlichung
20. April 2016
Erteilung
20. April 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/08H01J37/077H01J37/05H01J27/16H01J37/304H01J37/305H01J37/26H01J37/30G01T1/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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