Aberrationskorrekturvorrichtung und Ladungsträgerstrahlvorrichtung damit
EP2600382
Art A1
5. Juni 2013
Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2600382
- Aktenzeichen
- EP11812459
- Anmeldetag
- 26. Juli 2011
- Veröffentlichung
- 5. Juni 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi High-Technologies Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
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Strehl, Peter
München, Deutschland
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